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第226章 如果有这一半的速度,再加上这质量… (5 / 5)
“气体压力……”
“微博功率……”
陈舟在草稿纸上写下这两个词汇。
拿笔点了两下,随手便划了两个圈。
这是重点。
放下笔,陈舟滑动鼠标,继续看文献的内容。
MPCVD法之所以会成为最广泛的方法,是因为这种方法比DAPCVD法制备的金刚石薄膜质量更好。
很好的解决了膜的致密度不高的问题同时,还可以产生大体积的金刚石薄膜。
此外,这种方法还能在曲面或者复杂表面上进行金刚石薄膜的沉积。
而且MPCVD法无内部电极,可以避免电极放电污染和电极腐蚀。
可以说是满足了制备高质量金刚石薄膜的条件。
但是,就像四十三所实验室的装置一样,MPCVD法的沉积速率是硬伤。
看完了这篇详细介绍MPCVD法的文献后,陈舟不禁想到。
“如果有DAPCVD法一半的速度,再加上MPCVD法的制备质量,那这事不就成了吗?”
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