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第486章 有钱真好! (7 / 8)
紧接着就是关键所在
曝光
就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备,一片晶圆可以制作数十个集成电路。
开启电源,苏陌把第四芯片放到曝光系统中,便操控起光源开始曝光。
通过玻璃,苏陌清楚的看见紫外光,被椭球面反光杯聚焦后,经冷光镜反射到复眼透镜阵列场镜。
再从投影镜出射的光到达二向色镜,光谱中的紫外部分被50透射,50反射后,到达两块对称分布的大面积球面平行反光镜,被准直反射到晒板上对第四芯片上进行曝光。
整个过程相当快,只用了三分钟不到,曝光就已经完成了
看到这一幕,苏陌不由得感叹道:“有钱真好”
他之前一直失败,就是卡在了曝光这里,换了一台光刻机以后,一次成功
不得不说,金钱的力量还是很强大啊
关闭电源,苏陌小心翼翼的取下曝光机中的第四芯片,认真的观察了起来。
经过几遍的检查以后,苏陌脸上出现了振奋之色。
“终于曝光成功了”
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