第一二一章：重逢 (1 / 4)
        实验室一期工程完成后，半导体项目就占了约三分之二的面积，五个特别建造的实验厂房成了项目的主体建筑。

        李云野和埃文在胡博实的陪同下走完五个厂房，回到办公室时，已经快下午一点了。工作人员拿来盒饭，几人草草吃过，李云野道：“胡老师，半导体项目现在一共有多少人？”

        胡博实道：“现在有九百三十八人，其中，华芯国际有一个三十七人的团队；华科院光电技术研究所有五十八人，带队的是程力泉院士；另外，陈原院士的五十六人团队也入驻了实验室，对外打的是华科院石墨烯研究院的名号；此外，航空航天精密机械研究所由屠洪总工带队，一共有八十一人。”

        李云野皱眉道：“这么说，真正属于实验室的人，不过七百人多一点，太少了。”

        胡博实却摇头道：“我们研究的主要是工艺技术，具体设备的制造，不可能靠我们自身来进行，硅晶圆的生产流程包括提炼与提纯、单晶硅生长、晶圆成型三大环节，每个环节所需的设备都不在少数，尤其是晶圆成型环节，光刻机的制造就需要成千上万个零件，这需要依靠众多的配套厂商，有些配件还需要进口。所以，就是工艺技术，我们也只能择重点进行攻关。”

        李云野知道胡博实说的是实情，想了想问道：“光刻机的研究，有什么新的进展？”

        “运动平台是一大难点，目前国际最先进的光刻机运动平台全部采用磁浮技术，这样才能精密控制六个自由度的运动，相比我们早期采用的气浮+线性马达技术，技术上反而简单一些，但我们的机械加工工艺却达不到精度要求。这方面，我们和沪海微电子及燕京精科达成了技术互换协议，燕京精科正在全力研发工件台。”

        “另一个难点就是曝光系统，程力泉院士正倾力于EUV曝光系统，只是目前的进展不大。”

        胡博实细数和实验室达成合作协议的国内厂家，足足有二十七家之多，这让李云野庆幸不已，也就胡博实，对国内半导体行业非常清楚。

        “配套厂家虽多，技术水平却有高低参差，发展很不平衡，大多数还停留在八十年代末期的水准，只有数家历经技术引进，达到了国外九十年代初的水平。就是现有的技术人员，不少人的知识体系也跟不上，索斯博士办的培训班可帮了大忙。”

        李云野想起索斯博士与埃文的三年之约，便道：“胡老师，索斯博士在华的时间不太多了，你们要抓紧时间多向他请教。”

        胡博实笑着点点头，这是应该的，对于索斯博士，几堂课下来，没人不服的。

        胡博实走后，李云野和埃文又分别去看望了程力泉与陈原院士。这两位是研究狂人，自从到了实验室，良好的研究环境让二人兴奋不已，自然一头扎进工作，轻易不出实验室。

        所以，二人一见到李云野，闲话没有，陈原院士开口就道：“小李，实验证明，石墨烯的电气性能虽然很好，但有两个主要的技术问题：一是没有带隙，石墨烯开关无法关闭；二是必须产生高质量的晶体，并与现有的互补金属氧化物半导体(CMOS)器件兼容。为此，我又制备了硅烯、锗烯这两种材料进行比对，但石墨烯还是最有发展潜力。”

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