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第259章 p型、n型、共掺杂 (1 / 12)
陈舟先把沈靖整理好的10组实验数据进行了汇总,然后便开始参照薄膜制备工艺的研究方法。iweii.
先通过大量的献资料,把所有的问题摆出来,寻找解决的思路。
再结合四十三所的这10组实验数据,通过错题集进行试错。
而沈靖,则被陈舟安排了和张一凡一样的任务。
那是,他需要和方结明一起,构建掺杂实验的分析模型。
“p型掺杂的硼源的选择是BcH33,这点应该没有问题。”
“因为BcH33作为硼源,有利于硼原子掺入金刚石晶格的替代位置,可以提高硼的掺入效率……”
“……不同金刚石衬底晶面对制备的硼掺杂金刚石载流子迁移率的影响……”
“……从实验数据和献资料来看,分别在100、110、111面单晶金刚石衬底制备硼掺杂金刚石层时……”
“……111和110面金刚石衬底的晶格缺陷捕获了大量硼原子,降低了硼原子的掺入效率,并且存在较强的杂质散射,使迁移率低于100面金刚石衬底……”
“所以……”
陈舟脑海的思路十分清晰。
所有关于p型掺杂金刚石的内容,在他的脑海不断的被过滤和筛选。
他在把思路转变为明确的方向。
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